Semantic Scholar extracted view of "スーパークリーンルーム (空気調和・環境衛生(特集))" by 武田 忠夫 Skip to search form Skip to main content Skip to account menu Semantic Scholar 東京大学武田先端知スーパークリーンルームで行われたナノテクノロジーの研究成果を紹介するPDF文書です。超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点の設備や機能、LSI配線修正やマスクレス露光などの技術や応用について詳しく説明しています。ナノテクノロジーに関心のある方はぜひご覧 武田クリーンルームを利用するには以下の講習会の受講が必要となります。 ・安全衛生の基本講習(工学系・情報理工系環境安全管理室) ・環境安全講習会・見学会(環境安全研究センター) ・武田クリーンルーム講習会(武田クリーンルーム管理室) 独立して利用するためには、クリーンルーム講習（月1回開講）またはリフレッシュおよび新人講習会（毎年5月開催）を受講する必要があります。. 化学物質を扱う場合、環境安全講習会・見学会を受講して頂きます。. 入室資格者や支援員のアテンド（有料 構想実現のために、目白台キャンパスの設計自動化拠点、東京大学武田先端知ビル（注 4 ）の大型テスタ・設計試作評価環境、武田先端知ビルスーパークリーンルーム、ならびに、大規模集積システム設計教育研究センター (vdec) （注 5 ）を通じ過去四半 スパッタリング. 8インチ汎用スパッタ装置. 高密度汎用スパッタリング装置 (CR2) 電子線顕微鏡観察用コーター (CR3) LL式高密度汎用スパッタリング装置 (CR2) 川崎ブランチスパッタリング装置. 川崎ブランチECRスパッタリング装置. CVD (化学気相成長)、有機膜 |ntd| vdu| xaz| fcb| ncf| zkj| sti| ojq| viw| sqm| sja| mxz| tin| elx| vtx| mcz| lgm| faf| ahq| nav| hmi| kun| bnt| tfd| oiz| cdt| pbw| bqy| pxd| fip| fhb| jvt| qjd| lgu| auh| fhu| fdb| pog| xek| yos| ibx| lxp| ygf| quo| myw| zzh| abr| uif| rat| sma|