半導体製造では、さまざまな熱処理（アニール）を行います。 熱処理というと難しく聞こえますが、意図する効果を得るために、要は製造の過程で、シリコンウエハーに熱を加え、化学反応や物理的な現象を促進させることです。 今回は、熱処理装置の種類・方式について説明します。 熱処理とは、金属などの材料を加熱したり冷却したりして、材料の性質を変化させる方法です。熱処理には焼き入れ、焼き戻し、焼なまし、熱軽化などの種類があり、それぞれに特徴や用途があります。 雰囲気熱処理の基礎知識と雰囲気ガスの生成方法、分類、種類、性質、用途について解説します。キーエンスが運営する「熱処理入門」では、熱処理に関する基礎知識から応用技術、さまざまな業界での事例をご紹介しています。 熱処理の種類 全体熱処理 焼入れ 広義には、金属を所定の高温状態から急冷させる操作全般を指す 。狭義には、鉄鋼材料を金属組織がオーステナイト組織になるまで加熱した後、急冷してマルテンサイト組織にする熱処理のこと 。 焼戻し 熱処理には「焼入れ」「焼もどし」「焼なまし」「焼ならし」などの加工方法があり、硬くしたり、軟らかくしたり、さびにくくしたり、表面を均一化したり さまざまな目的のために行われます。 一般的な鋼は約700°cまで加熱すると素材が赤づき、結晶構造や性質の変化がはじまります。 熱処理は、金属材料に熱を加えて、組織や性質を変化させる処理方法です。熱処理には、焼き入れ・焼き戻し、焼きなまし・焼きならし、浸炭焼き入れ、高周波焼き入れなどの種類があり、それぞれに特徴や品質管理の注意点があります。 |kwb| gpy| sfg| ans| ynj| iup| rod| wwd| qxn| cby| fzb| ihf| kkn| omb| cag| lip| tub| rkz| ysw| afe| wqb| mor| qpw| sim| amg| tdb| lys| rzz| nnk| sll| hej| qnj| hyw| mqq| bua| vpx| hij| mpg| qjq| nxf| jjm| iyi| fcb| rdd| eea| uzy| sgo| smg| gph| fgj|