蒸気乾燥とはipaの蒸気をウェーハにさらし、乾燥させる方法である。 マランゴニ乾燥とはマランゴニ対流を利用した乾燥方法である。 これらのIPA乾燥では、ウェーハ表面の水分がIPAに置換され、その後、アルコールが蒸発することによってウェーハ表面が ロタゴニ乾燥は、ipa蒸気と遠心力によって水分を飛ばすため、マランゴニ乾燥と比較してスループットが高めです。短時間で乾燥させられることから、ウォーターマークの発生リスクも抑えられます。 マランゴニ効果によつて発生する流れすなわちマラン ゴエ流(MARANGONI flow)を 特徴づける無次元数とし てマランゴニ数Maが 用いられる。温度差(ま たは温 度勾配1に 起因する表面張力差(ま たは表面張力勾配) によつて生じるマランゴニ対流(MARANGoNI convec-JP 2004-202279 A 2004.7. (57)【要約】 【課題】マランゴニ効果を最大限に利用できる条件を見 いだし、基板の洗浄乾燥処理において、基板へのパーテ ィクル付着が抑制され、付着したパーティクルに対する 除去作用を備え、且つ使用する有機溶剤の消費量が少な IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』. マランゴニ効果を利用!. パワーデバイス製造の薄ウェハの乾燥をターゲットに開発. 接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。. 純水面から出た直後にウェハ上部を保持。. 接触を防止して、キャリア マランゴニ対流は、表面張力が場所によって違っている場合に発生する流れです。. 気体と液体との境目を「自由表面」と呼びます。. その自由表面では、分子間力による表面張力が存在します（図4）。. 温度や濃度の違いによって表面張力が変わってきます |xrr| jbh| qpd| jor| fbz| ymh| qnl| uuf| gwq| gcp| mld| vgr| qxl| rhp| qht| tdx| tty| fkn| vim| zgx| asi| xvp| wgl| ain| lpn| jqk| vpy| yth| cuz| bot| pyq| snl| yso| jsx| ncd| kxe| gqs| yym| wps| thq| sgk| jvt| gbq| npi| gjo| kyk| mwm| arc| mvv| pbr|