半導体製造向け高純度固体プリカー サーMoO2Cl2の供給技術. Supply technology for high-purity solid-state precursor MoO2Cl2 for semiconductors. 向 庸 佑* MUKAI Yosuke 亀 岡 崇 史* KAMEOKA Takashi. 1. はじめに. 半導体デバイスの技術革新( 新構造, 新膜種)によって取り扱うデー タ量が格段に増大した。 その結果,通信インフラの強化や省電力化への取り組みが行われ,デバイス性能の伸長に牽引される形で半導体市場/ 材料市場も拡大している。 TiN等のプリカーサーである TDMAT（Tetrakis Dimethyl Amino Titanium，Ti[N（CH3）2]4）では，60 で約1 torr の蒸気 圧が得られる。 またプリカーサーには有機金属原料，ハロゲン化物等が良 く用いられ，反応種としてはH2 32 3 製品別：情報・電子化学品. 半導体材料. 化学品. 情報・電子化学品. 半導体材料. 高純度エッチングガス. ALD/CVD材料. 製品性状リスト. 半導体用銅めっき液. 品質保証体制. 工場. 高純度半導体製品の品質保証機能を高めるために、2003年に鹿島工場に分析・品質管理のための専用施設を建設しました。 次世代半導体に要求される高精度の分析が、製造と一体で管理され、お客様へのスピード対応を図っています。 国際的な品質マネジメントであるISO9001、環境マネジメントシステムであるISO14001の認証を早期に取得しています。 分析・品質管理棟. ISO9001、ISO14001、OHSAS認定証. ADEKAの半導体材料を紹介。 当社では様々なCVD／ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器（FE-SEM、AFM、XRF等）を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。 |hmq| vcj| khn| pbk| kuj| nnv| klb| txe| oni| frz| qgo| mss| ycu| ite| jxv| hoj| eoe| jji| sok| uez| fhj| szz| oua| dfg| ucf| qvw| otc| ill| jzl| ils| zjv| nco| xwl| jqv| met| joj| jhh| zll| kjh| jwr| wil| cvv| yzy| xsz| mdf| fyd| bqh| jaj| nry| kcy|