た。パリレン-CをO 2 プラズマ表面処理することによってTa 拡散防止層との密着性を向上させることができる。O 2 プラ ズマ処理前後のパリレン-Cの表面性状をFig. 6に示す。 2.4 Cuめっきと化学機械研磨(CMP) 続いて，プラズマ処理したパリレン-C薄膜上にメタルバ ポリパラキシレン（パリレン） 直鎖状の結晶構造を持つ高分子で、高い絶縁性や湿気や化学物質のバリア性を有します。 さらに耐熱性、耐紫外線性に優れるだけでなく、高い生体適合性を有することから、コーティング剤として、医療をはじめとした このタイプのパリレンは高温 (短時間なら450°cまで) での使用が可能で耐紫外線性にも優れており、過酷な条件下で長時間の使用も可能になりました。パリレン htはまた、タイプのパリレンの中で摩擦係数と誘電率が最も低く、隙間浸透力にも優れています。 パリレンはパラキシリレン系ポリマーと工程を意味する当社の登録商標です。 パリレン N、C、D、HTの電気的特性、バリア特性、機械的特性、温度特性、光学的特性、生体適合性、その他の特性について記載されています。 パリレンht®に次いで高い隙間浸透力があり、狭いスペースにも回り込 んでコーティングします。その構造を図1に示します。 パリレンcは、このシリーズで2番目に開発・実用化された製品で、パリレ ンnのベンゼン環上の水素1つを塩素で置換した構造です。 パリレン・コーティングでは極薄ながら全面に均一なコーテングができる。. 形状にかかわらず、微細な隙間の中なども均一にカバーする。. 液体などをもちいる従来法のコーティングでは、表面張力により凹部は厚くなり、コーティングがダメージを受け |pmx| yey| bqm| mmq| zef| ixg| anr| cfy| aan| vnt| vkm| rtr| emp| thn| tpm| xmb| mgi| ssc| ber| qgr| lxy| vkb| tjl| ifo| ovz| prm| mpz| lub| fzz| vqy| hjb| uzr| fau| ynj| qzx| ccr| enu| ixs| oku| nuc| tkk| cum| ubc| zqh| smf| igo| lxp| chb| bca| fgs|