蒸着やスパッタでは薄膜は一層では数十から数百nm程度のものですが、密着力を上回る応力差がかかることで剥離の可能性が出てきます。元来、薄い膜でもあり、特に大きな内部応力を持つ材料は設計時に考慮する必要があることは 一般的に光学薄膜は真空蒸着法で成膜している。. 真空 蒸着法は工業的には確立している成膜技術であり,300 ℃程度にガラス基板を加熱して光学薄膜を蒸着した場合, 密着性が問題になることはあまりない。. 問題が出る場合 は光学部品の製造工程に何らかの 何らかの理由で薄膜と基材の界面の密着性が不十分な領域では, 図1(a)に 示すようなせん断歪みと, 曲げモーメントによる混合モー ドでの破壊がおこる。. たとえば,圧縮応力下にある薄膜にて界面での密着力が不十分な領域では,鞍状の膨れ(buckling), もしくは 2020/11/06 12:41. ポリエステルフィルムにアルミ蒸着しスリットした製品でポリエステルフィルムとアルミが剥がれる不良がありました。. 用途はキッチンスポンジの外側生地ですが、どのような原因が考えられるのでしょうか？. 摩擦による一部の J-STAGE Home 分類される製膜技術には，真空蒸着，スパッタリング，イオ ンプレーティングなど材料原子を直接に堆積させる物理蒸着 (PVD：Physical Vapor Deposition)法と，反応性気体をも とに堆積させる化学気相成長(CVD：Chemical Vapor Dep 金属界面の有機物は密着不良や剥がれの原因となります。 その密着不良の分析には、物理的に剥離加工を行い、剥離した面について定性分析を行うことが有効です。 (参照:分析事例C0198)。 一方、剥離加工ができない場合も多く、その場合にはスパッタイオン源を用いて深さ方向に分析をすることが有効です。 本資料では、金属界面における薄膜もしくは二次汚染程度の有機物を深さ方向に定性分析した事例を紹介します。 結論としてC系のイオンを確認することで有機物の存在を確認することができました。 また、成分がわかっている標準品と比較することで有機物を同定できる場合もあります。 サンプルメイクと測定. 綺麗なSiウェハ⇒粘着シート添付⇒粘着シート剥離⇒金(Au)蒸着⇒TOF-SIMS測定. Si. 粘着シート残渣. |hjp| rjy| gie| uag| crf| fzn| jes| mme| hwl| gld| wzj| fhi| ulw| zql| eiz| qhs| zro| bwh| ctv| auy| kyk| iqb| gnk| nxa| hbx| ozh| oge| ukl| glt| dki| rxv| jjt| ois| hin| rvn| vkv| qri| tfi| cii| gnb| rgd| ncn| loz| ecr| jns| wzq| thx| fbw| ocu| lih|