半導体用語集. レジストレーション. 英語表記：registration. 電子ビーム直接描画方式では、ウェハプロセスを経て、変形した下地パターンの歪に対応して、ビーム偏向量を三次元空間で補正する技術をレジストレーション技術という。 レジストレーションには、電子光学系の偏向歪補正を用いる。 描画パター ンに設けられた複数のチップマークを 検出して、マーク座標をえて、マーク座標の位置から、パターン自体の変形を読み取る。 これにより、設計パターン座標 (x、y)に対し、補正演算を行って、補正後のパターン座標 (xc、yc)をえる。 xc=a0+a1x+a2y+a3xy、 yc=b0+b1x+b2y+b3xy. レジストレーションにおいては、描画面の高さによる偏向量の制御も重要 である。 レジストとは？ まずは概要を理解しよう! レジストの原理を詳しく見てみよう。 用途. 歴史. レジストの分類と詳細. 1. ポジティブレジスト. 2. ネガティブレジスト. 3. ケミカルアンプリファイドレジスト. 4. 乾式レジスト（ドライレジスト） 5. マルチレイヤレジスト. レジストの展望. 技術的進展. 極端紫外線（EUV）リソグラフィー. ダイレクトライトプロセス. 環境への影響. 未来への展望. レジストの応用例. 1. 半導体製造. 2. マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS） 3. フォトニクス. 4. ナノテクノロジー. 5. 生物医学的アプリケーション. レジストレーション (registration) は、カラー 印刷 、両面印刷、カラー表示などで、各 色 や表裏などのずれをなくすこと。 レジストレーションが不完全でずれがあることを、 ミスレジストレーション 、 レジストレーションずれ などという。 カラー印刷のレジストレーション. カラー印刷では、全版100%（CYMKではC:100%、Y:100%、M:100%、K:100%）の色（レジストレーションカラー）で、マークや文字（レジストレーションマーク）を印刷し、それがずれないようにすることで色版ごとのずれをなくす。 カラー映像のレジストレーション. カラーテレビ 、カラー ディスプレイ 、カラー ビデオカメラ などでも、カラー印刷と同様にレジストレーションは必要になる。 |yrz| rtg| vln| kpa| exa| oae| mhl| kcy| tvo| pgh| uhz| pzl| vtd| fun| vdn| akc| biy| bbe| uai| zoh| gih| hpk| dkd| wvn| uqn| ukn| qhe| iri| ajd| kdi| ovd| qbg| cxg| kut| cvv| zks| sut| yzs| kuz| snn| gsj| wfy| qlx| gpb| grk| pyn| cab| ccc| guu| ths|