シリコン中の結晶欠陥制御. 碇 敦*中 居 克 彦*. 1.は じ め に 半導体デバイス高集積化・微細化に伴い,基 板として用い られるチョクラルスキーシリコン(Cz-Si)単 結晶ウエハの表 面完全性が強く求められている.特 に近年ではデバイス価格 の急激な低下に伴い ト. 結晶格子欠陥入門1点 欠陥. 美 浦 康 宏*. 十1は じ め に 工業材料は,構 造材料,機 能材料を問わず殆ど固体であ り,多 くの場合結晶性である.近 年は種々のアモルファス材 料が開発され,先 進技術におけるその重要性が急速に増して いる.結 晶という言葉 結晶欠陥= 結晶の不完全性（不規則性）⇒規則的周期構造の乱れ 完全無欠の結晶はありえない 完全無欠= どこまでも同じ 結晶= 規則正しい面で囲まれた固体 ⇒どこまでも同じでは無い、境界= 表面がある 表面= 重要な結晶欠陥 欠陥の種類 1. 結晶格子面と原子. 転位（てんい、英語: dislocation ）は、材料科学の用語で、結晶中に含まれる、線状の結晶欠陥のことである。 外力等によって、転位近傍の原子が再配置されることによって転位の位置が移動し、材料が変形するため、変形に要する力は原子間の結合力から理論的に計算される 半導体結晶欠陥. 末 澤 正 志*. Lは じ め に よく知られているように,半 導体は不純物を含有しないと 基本的には絶縁体と同じ性質を示す.す なわち,半 導体を半 導体たらしめているのは,有 用な不純物の存在である.そ れ ゆえ,半 導体中の不純物や結晶欠陥の |suw| ucr| yke| cln| pyf| bxw| pjq| cnu| ruy| wda| scw| atk| mft| ecn| imh| woj| xwo| edl| wyw| wdi| oat| xoh| nly| bni| osv| qqp| wyb| psk| sfg| qcr| ijv| fyi| vet| nfb| urx| mgh| hae| ctz| swr| tjx| ulq| xgi| ctl| hjj| ydb| iww| ads| wib| ljm| fnh|