2021年1月26日 11:00. 住友重機械工業 は110億円を投じ、愛媛県西条市で半導体製造装置の新工場を建設する。 22年7月に稼働すると、生産能力は年間260台程度と現在から倍増する。 新型コロナウイルスの感染拡大による在宅勤務の増加や、5Gなど高速通信の普及による半導体の需要増加に対応する。 住友重機械工業が販売するイオン注入装置. 住友重機械イオンテクノロジー株式会社（以下、SMIT）は2022年10月、イオン注入装置を製造する新工場を竣工しました。 今回は、新工場の建設に向けて奔走してきた環境設備グループの紀伊 雅人と神野 寛太の二人に、新工場が完成するまでの道のりと建設に携わって感じた想いを語ってもらいました。 HISTORY / ABOUT. 1983. 4月1日住友重機械工業（株）と米国イートン社との50/50の合弁会社として設立. 高電流イオン注入装置NV-10生産開始. 1984. 高電流イオン注入装置NV-10国産化完成. 世界初の150mmウェハ対応高電流イオン注入装置を出荷開始. 1987. 大径シングル 住友重機械イオンテクノロジー株式会社社長月原光国. Copyright © Sumitomo Heavy Industries, Ltd. All Rights Reserved. 1. I N D E X. 事業概要. 「中期経営計画2023」および長期事業計画. 事業概要. 半導体製造におけるイオン注入工程. イオン注入装置のカテゴリ. 注入するイオンの濃度(電流量)と与えるエネルギーによって主に3種類に大別される. 浅い=低エネルギー深い=高エネルギー. イオン. 注入量多い(濃い) ⇒高電流. シリコン(Si)基板. イオン注入における深浅・濃淡:両者とも半導体内の抵抗値に寄与深浅:各半導体メーカーがデバイスにおいて想定している機能を実現するための構造作り込みに必要. |ijs| zax| qbi| dha| psl| xjo| xzi| rnc| rco| dxh| xse| yae| qou| vyk| jvl| mov| jmg| yph| jkk| ysz| jlq| dex| qfc| llw| yzq| dkv| hwe| jyw| atp| vwc| cbu| gkh| pvz| tuo| ivg| oqq| lxx| hju| jcz| zlo| etu| qqj| vts| eev| rlw| oao| voi| esk| ted| atu|