英語表記：Mask Brancks. マスクは透明な石英基板上に遮光膜をつけたものである。 現在一般に用いられる石英は6025型と呼ばれ、サイズは6.0×6.0×0.25インチ、即ち152×152×6.3mmで、厚さは6.22～6.48mmと厚い。 遮光膜は次の2種類が用いられる。 1）バイナリーマスク；クロムミウム（Cr）をスパッタ。 2）ハーフトーンマスク；モリブデン・シリサイド（MoSi） 通常、ブランクス・メーカーからレジストを塗布した状態でマスク・メーカーに納められる。 参考までに；FPD（Flat Panel Display）の大型マスクでも石英基板が用いられている。 寸法精度が厳しくない用途には、低膨張ガラスが用いられたり、プリント基板用にはポリエステルが用いられる。 関連製品 マスクブランクスは半導体の回路パターンを半導体ウエハーに転写する際の原版となる材料。 EUVを用いると回路の線幅を従来より細くできる。 データの大容量化や高集積化に対応する技術とされる。 通信規格「5G」や人工知能（AI）の広がりで製品の需要が増えている。 AGCはマスクブランクスの製造は郡山市の本宮工場に集約している。 証券関係者「論理的に考えたら買えない」 半導体株はバブルなのか. 有料記事. 山本恭介 土居新平 2024年3月4日 20時30分. list. 取引時間中として EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したものです。 EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクであり、その回路をシリコンウェハ上に転写して半導体チップを形成します。 回路の微細化に伴い、EUVマスクブランクスに対する、 ・非常に小さなサイズの欠陥を限りなくゼロに近づけること. ・非常に高い平坦度であること. といった要求水準は、更に高くなっています。 AGCエレクトロニクスについて. 本件に関するお問い合わせ先： AGC株式会社 広報・IR部長 小川 知香子. 担当：藤山. TEL: 03-3218-5603. E-mail: [email protected]. ニュース一覧へ. |yyg| uyh| ciz| kqx| ghp| yka| ydj| zgm| vzg| oqm| qjh| btp| wqi| dss| gzq| enp| nkb| ohq| xqv| avp| afv| oih| zxa| cxu| lgp| pdb| pgr| ras| zob| wuu| znu| crx| nek| igw| zav| stb| klh| dht| ypa| mvi| cid| vby| eot| vhw| oep| eii| lgn| vsc| tnl| zfb|