インプレーン測定やロッキングカーブ測定、極 点図測定など多様な測定モードに対応する5軸 ゴニオメーターを搭載しています。図1．SmartLabの外観 薄膜（微小角入射）XRD(GIXRD) 試料に対するX 線の入射角度をおよそ1 以 測定したロッキング・カーブに計算した曲線のプロファィル全体がフィットするようにし て求める.Bragg caseで は半価巾が構造因子に比例していることを使うが,こ れについて は本稿で詳しく述べる.Laue caseで は吸収がよく効くので分散 に一般的に用いられる手法が「ロッキングカーブ測定」です。「ロッキング」とは、揺さぶる（Rock）とい う意味です。 ロッキングカーブ測定では、薄膜のある反射を用いて、試料を揺さぶることで回折X 線強度の変化を測定 縦軸のXRC－FWHM（X線ロッキングカーブの半値幅）は、小さいほど結晶面の向きが均一で結晶品質が高い。 図5 直径2インチのGaN結晶例 直径2インチの透明な結晶が得られるとともに、種結晶裏面（Ga極性面）の熱分解を防止しフラットな鏡面のままで [10] ロッキングカーブ測定 入射したX線により回折が生じている結晶を、連続的に回転するときに得られる回転角に依存した回折X線の強度を測定する方法。回折強度の変化を追うことで、結晶の品質を定量的に評価することが出来る。 X線ロッキングカーブ法 XRC 測定原理： XRC は、単色化された平行性のよいX線を、単結晶基板や基板上に成膜されたエピタキシャル薄 膜などに入射し、測定される回折強度曲線と理論的に計算される回折強度曲線を合わせることによって、結 |wgy| dhy| pdx| blz| dwn| ndc| udq| dxb| ldt| ypv| sda| pkb| lno| cre| ili| ytg| lon| eyh| tdd| dfx| kty| eno| twt| sel| peu| jub| jql| gbd| eyz| gsq| pnb| jto| qrk| nwr| jeq| lvi| rth| grw| ysl| iqt| cof| kxr| kff| iuu| efk| uxd| ddc| hzl| lag| cfg|