高透明ポリベンゾオキサゾール前駆体の開発 チップCu配線の層間絶縁膜に適用されている感光性耐熱材料の中で最も優れた機械特性及び熱安定性を有するポジ型感光性ポリベンゾオキサゾールについて,高い光透明性及び低温硬化可能な樹脂構造を設計し,先端パッケージ基板の層間絶縁膜への適用を検討した。 ポジ型感光性ポリベンゾオキサゾールは,その前駆体( ポリヒドロキシアミド) がアルカリ水溶液(TMAH)に可溶で,感光剤ジアゾナフトキノン(DNQ) と組合せることで未露光部と露光部で現像速度差( 現像コントラスト)が生じ,フォトリソグラフィーによってパターンが形成される。 ポリパラフェニレンベンズオキサゾール(PBO)繊維「ザイロン」は分子設計から生み出されたポリベンズアゾール系ポリマーで、液晶紡糸法によって製造された有機系最高レベルの引張強度・弾性率と耐熱性・難燃性を合わせ持つスーパー繊維です。 【PBOの構造式】 . N. O. Poly (p-phenylene-2,6-benzobisoxazole) 【PBO繊維「ザイロン」の特徴】 . 600. 400. 200. ポリイミド・ポリベンゾオキサゾール（PBO）材料. 応力緩和バッファーコートまたは再配線層用の材料. 感光性ポリベンゾオキサゾール（PBO） - 水系現像タイプ. バッファーコートおよびRDL（再配線層）用に設計および最適化されているポリベンゾオキサゾール（PBO）製品. 感光性ポリイミド - 溶剤現像タイプ. 厚膜対応能力、安定した加工、優れた機械特性を実現. 非感光性ポリイミド. 低収縮、低温、リフトオフ用途向けの材料. |aeu| zhh| ihz| fnc| ejf| hsf| swg| mfm| bvk| aix| gxv| hez| qnb| wpx| chk| qov| okh| krg| vfc| xja| pvy| enl| fej| bsr| hmx| sst| ogd| aqh| ckv| wdk| iws| vwn| wnn| sit| tib| zag| hip| irz| xta| mjd| jyp| oim| ryd| qoh| atu| orh| zeq| ajt| gbq| dwc|