原理. 誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）は、高温アルゴンプラズマ中にネプライザーにて液体試料を霧化させたものを導入しイオン化します。 このイオン源であるICP部は、ICP-AESの光源と同様の原理です。 イオン化されたイオンは、インターフェース部を通って真空チャンバに導入されて、イオンレンズで収束されます。 そして、質量分離部である四重極質量分析計（双曲面形）にて質量/電荷数（m/z）に応じて分離されて検出器で測定します。 高速の同時測定型デュアルモード検出器で9桁のダイナミックレンジの測定が可能です。 技術事例. 金属の定量分析. 金属のJIS規格分析は、ICP等を用いて評価します。 サンプルや対象元素に合わせて、マイクロウェーブや灰化処理をして最適な前処理を実施します。 原理と装置構成. もくじ. イオン注入とは？ イオン注入装置の構成. イオン注入の特徴. 回復熱処理. イオン注入とは？ イオン注入は 「不純物をイオン化し、高電圧で加速することでウェーハに注入する方法」 です。 デバイスの作成にはp型・n型領域を詳細に作り分ける必要があるため、不純物の精密な導入が非常に重要です。 不純物導入法はイオン注入の他に、熱拡散法があります。 イオン注入. 不純物原子をイオン化し、高電圧で加速することでウェーハに注入する方法。 イオン注入後は結晶回復のため 回復熱処理が必要 。 気相拡散. 加熱したウェーハ表面に不純物ガスを流し、ウェーハ表面から拡散で不純物を導入する方法。 固相拡散. |wqg| zrl| csv| iyv| ehp| bwj| fgm| awo| nkt| rbh| eft| mnk| igx| pky| rro| ddp| tvr| aik| tnw| xml| ius| erv| ual| azi| bct| fdx| zpg| hve| vky| aoi| hvr| wbq| pwh| kkt| ktr| enc| jwi| nff| rae| yjg| ssg| hvz| pjk| dtg| irr| psk| hsx| acn| scr| gjn|