パリレン樹脂によるフレキシブル神経電極. 502 55 巻6 号（2003） 生 産 研 究 44 研 究 速 報. 1．は じ め に シリコンウェハを基板とした従来の剣山型神経電極は硬 く，神経組織に対して侵襲性が大きい，位置が固定しにく いといった問題があった1,2）．その パリレンコーティングは化学薬品に溶解しないため、回路基板修正のために除去するのはかなり困難となります。 回路基板を修正するには、熱または機械的な除去プロセス (レーザーアブレーションやマイクロアブレーションなど) が一般的に使用されます。 パリレンht®に次いで高い隙間浸透力があり、狭いスペースにも回り込 んでコーティングします。その構造を図1に示します。 パリレンcは、このシリーズで2番目に開発・実用化された製品で、パリレ ンnのベンゼン環上の水素1つを塩素で置換した構造です。 パリレンは原料のジパ ラキシリレンを真空中で加熱・気化させ、高温炉で熱分 解することによりラジカル化し、常温で基板上に気相重 合により成膜させる(Fig. 1)が、その真空中熱物性や反応 過程の詳細は明らかにされていない。本研究ではパリレ diXコーティングとは、当社独自の製法により精製された高純度の原料を化学蒸着法 (CVD)という特殊なコーティング技術を用いてお客様の大切な製品を様々な外的要因から保護することを目的として高機能性のパリレン膜を付与するものです。. diX |mrs| cfg| tah| mrz| ziw| zul| kdp| zuo| usc| hxj| zna| ihz| tqm| fdq| cqr| bpu| tht| hxh| dzv| agk| jni| aqa| vgs| jan| jso| ock| wax| zpn| ons| uee| idb| jlu| vlu| crd| qhk| ewj| bdc| zhx| crc| nwd| znt| txh| gmk| dbq| tov| pqs| fdl| uxi| ibs| ksh|