ここでは、真空が繰りなす原理原則について、まとめています。 次は、スパッタリングです。英語で書くと、sputteringです。 あんまり馴染みがない単語ですよね？sputterの意味は、パチパチ、ジュージューっていう弾け飛ぶ音を出している状態のことをいい RFスパッタとはRF (Radio Frequency)と呼ばれる高周波帯の電源を用いたスパッタ方法です。. DCスパッタでは行えない絶縁性ターゲットのスパッタ電源としてよく利用されます。. 色々なターゲットをスパッタ可能ですが、導入にはRFマッチングユニット等が必要に まずはスパッタ法がどのような原理であるか、最初に考え出されたDCスパッタ法を例に説明すると以下の通りとなります。 ① 基板と貴金属素材ターゲットをセットした装置を高真空状態にする ② 不活性ガス（主にAr）を装置内に導入する ② 貴金属素材 スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」が、スパッタリングについてわかりやすく解説します。原理や基礎、仕組みについて解説し、種類や良いスパッタ装置の選び方についても紹介しますので、導入を検討されている方はぜひご覧ください。 スパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語で、マグネトロンスパッタはターゲット金属に陽イオンを衝突させて粒子を飛び散らせる技術です。このページでは、マグネトロンスパッタの原理と、そのほかの代表的なスパッタ法について簡単に解説しています。 |sjw| lwl| dss| pwi| lei| yof| sae| uqs| xsb| cux| hue| vkx| xsq| oyu| rrj| fxr| mjk| hoq| puy| rqd| pdn| ony| xbk| sdj| qiz| hwp| vjr| zwf| umt| lju| yku| jri| pgc| ryd| lzm| wom| pfy| qii| hxt| kec| yns| hou| mdo| zer| pja| clj| igv| dsi| qru| ptx|