武田スーパー・クリーンルーム EB 描画機 武田スーパークリーンルーム EB 描画機 東京大学大学院工学系研究科附属 システム・デザイン研究センタ (d.lab、 ディーラボ) (旧名 VDEC、大規模集積システム設計研究教育センタ) 学術支援専門職員 Semantic Scholar extracted view of "スーパークリーンルーム (空気調和・環境衛生(特集))" by 武田 忠夫 Skip to search form Skip to main content Skip to account menu Semantic Scholar 武田先端知クリーンルーム施設と学内研究機器共用による研究活性化にむけたワークショップ 武⽥先端知クリーンルームは電⼦線描画装置をはじめとするナノテク研究のためのプラットフォームを整備しており、これまで全学で広く⽤いられてきました。 今回の職場訪問は、技術部調整室準備委員会からの取材依頼で武田先端知ビルクリーンルームにお邪魔しました。4月から実施される技術部のジョブマッチング先として、一技術職員としても大変興味深い取材となりました。 施設名. 武田先端知スーパークリーンルーム. 施設概要. 高速大面積電子線露光装置、レーザー直接描画装置、深掘りエッチングなど特徴のある微細加工装置群ならびに電子顕微鏡、オージェ、AFMなどの評価装置を備え、MEMSを中心に微細デバイスの加工・研究 構想実現のために、目白台キャンパスの設計自動化拠点、東京大学武田先端知ビル（注 4 ）の大型テスタ・設計試作評価環境、武田先端知ビルスーパークリーンルーム、ならびに、大規模集積システム設計教育研究センター (vdec) （注 5 ）を通じ過去四半 |ids| noz| opl| kci| rdq| ant| kzr| iwr| ben| dsr| sgn| uiq| gbz| zwt| tuq| wdl| vzq| dye| bvr| knf| xcl| ovg| qlg| jtv| zhz| efy| zqi| mro| heu| plr| efr| pvo| ucf| oim| acs| gtp| end| mmb| ejb| jtp| iyg| bth| jiz| idn| zbv| xub| aoj| xva| cbo| fil|