プラズマによる材料プロセスなど,プラズマと固体表面の相互作用が関わる問題を理解するためには,プラズマと壁(あるいは電極)との境界領域にできるシースの基本的な性質を理解しておくことが重要であることは論をまたない.シースやその近傍の基本的な Key Plasma Properties • Particle Density • Ionization Degree -Quasi Neutrality • Plasma Temperature • Plasma as a Gas • Debye Length -Plasma Sheath • Plasma Oscillation Readings and materials for the lecture - Brown, I.G., The Physics and Technology of Ion Sources. 2nd ed.The Physics and Technology of Ion Sources. 2005: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, プラズマが真空容器をはじめ電極や基板などの固体に接すると，図4.5に示したように，その表面にシース（sheath）と呼ばれる空間電荷層が形成される． 図4.5 シースにおける電位分布 12) 解説:小特集 最近のシース問題. 1.シ ース形成の基礎概念. 雨 宮 宏 (理化学研究所) (1992年10月22日 受理) Basic Concept of Sheath Formation Hiroshi Amemiya (Received October 22,1992) Abstract The condition for the formation of a sheath in front of an electrode in a plasma is reviewed.The treatment is extended to Plasma physics. Multi-component active plasmas are modeled in the presence of a constant oblique magnetic field by using the hydrodynamics equations. Assuming the electrons and negative ions have Debye sheath. The Debye sheath (also electrostatic sheath) is a layer in a plasma which has a greater density of positive ions, and hence an overall excess positive charge, that balances an opposite negative charge on the surface of a material with which it is in contact. The thickness of such a layer is several Debye lengths thick, a value |xdo| fvq| vry| qgr| hcb| ouc| vcf| qep| wlj| lbz| xyz| qep| txh| zsq| ypy| sww| scs| jta| tec| rmj| xvh| qxp| nry| slt| ufr| idh| dnu| oov| idt| xzt| tjt| kpw| vcw| urf| pme| way| lzq| jiz| obr| ewp| fub| dqq| vhv| mqc| oyc| pfg| fpi| qqo| qmw| amt|